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富莱FLY-MX12半导体显微镜是富莱光学最新开发的晶圆半导体显微镜,可以兼容6-12寸不同尺寸的晶圆检测,相比国外品牌,有快速交期和超高性价比,是半导体行业显微检测的首选。
配置 | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
光学放大倍数 | 50倍-1000倍 |
落射照明器 | 进口明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心可调 |
三目头 | 无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50mm~76mm,两档分光比双目:三目=100:0 |
目镜 | 高眼点大视野目镜SWH10X-H/23mm,视度可调 |
物镜 | 5倍明暗场半复消色差物镜 NA:0.15 WD:15mm |
10倍明暗场半复消色差物镜 NA:0.3 WD:8.4mm | |
20倍明暗场半复消色差物镜 NA:0.40 WD:11.9mm | |
50倍明暗场半复消色差物镜 NA:0.75 WD:3mm | |
100倍明暗场半复消色差物镜 NA:0.9 WD:1mm | |
调焦机构 | 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程32mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统。 |
载物台 | 14*12英寸载物台,X、Y方向同轴调节;含快速移动装置 有效移动行程:356X305mm 透射光照明区域:356X284mm |
机架 | 反射型机架,选配透射光源 |
灯箱 | LED长寿命光源 |
相机 | 富莱630万彩色相机 |
软件 | 富莱显微图像软件 |
选配 | 长工作距离物镜、偏光、微分干涉、红外功能等功能 |
外观尺寸/重量 | 640*701*650mm(长*宽*高) / 约65KG |